工业硅及氟硅生产过程中排出大量的NO_x、HF、HCl、烧碱雾及其他惰性气体，气体成分复杂、强腐蚀性，有毒气体，对大气的污染严重。目前市场上通常采用工艺装置及方法，都比较单一，无法达到各种尾气的处理的排放要求。该技术特点采用三级处理的吸收和吸附的装置和工艺，针对多晶及单晶硅生产系统排出尾气采用针对的药剂吸收、碱液洗涤、填料吸附等综合性工艺装置及工艺，才能达到尾气处理的排放标准。